基于有限带宽期望模型的超精密机床伺服跟踪控制研究

• 作者: 张飞虎 王立松 苏宝库 董申
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 超精密机床 有限带宽期望模型 伺服系统 振荡模态
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 565-568
• 页数: 5页
• 分类号: TP271.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2001.05.025

摘要

为实现超精密机床的高速高精度跟踪，提出了一种利用未来信息的有限带宽期望模型。该模型的幅频特性在期望频段内为1，其它频段内为0，在所有频段内相位滞后恒为零。系统设计中，采用了反馈+前馈补偿形式的控制器近似实现该模型。将该控制器应用于实际系统中，得到了跟踪正弦信号时系统的最大稳态跟踪误差不超过±25nm的控制精度。