InSb红外探测器衬底应力的模拟与分析

• 作者: 刘传洋 刘家璐 刘泽 宋李梅 张廷庆 李煜
• 来源期刊: 西安电子科技大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 应力 钝化膜 锑化铟 可靠性
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文和技术报告
• 页码范围: 301-305
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 2484字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2400.2001.03.007

摘要

根据线性弹性理论集中力的假定，计算了矩形膜淀积在InSb衬底上的三维应力分布；讨论了钝化膜对InSb衬底应力的影响；提出了提高InSb平面二极管可靠性的措施．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张廷庆	西安电子科技大学微电子所	9	26	1.0	5.0
2	刘传洋	西安电子科技大学微电子所	2	26	1.0	2.0
3	刘家璐	西安电子科技大学微电子所	3	26	1.0	3.0
4	李煜	西安电子科技大学微电子所	1	0	0.0	0.0
5	刘泽		1	0	0.0	0.0
6	宋李梅	西安电子科技大学微电子所	1	0	0.0	0.0