CMOS集成电容绝对压力传感器

• 作者: 周闵新 秦明 黄庆安
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 电容绝对压力传感器 微电子机械系统 CMOS Ic
• 年，卷（期）: 2001,（11）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 4098字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2001.11.002

摘要

CMOS集成电容绝对压力传感器是基于集成电路主流工艺集成的新型传感器,克服了传统传感器的缺点并利于批量生产.介绍了传感器的原理、结构及处理电路,并对微系统集成的概念及生产工艺进行了讨论,对传感器的应用前景及领域进行了展望与预测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦明	东南大学微电子中心	10	99	6.0	9.0
2	黄庆安	东南大学微电子中心	35	415	12.0	19.0
3	周闵新	东南大学微电子中心	1	7	1.0	1.0