低能He注入局域寿命控制电导调制型功率器件输运模型

• 作者: 方健 李肇基 李鸿雁 杨健
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电导调制 功率器件 He离子注入 局域寿命控制
• 年，卷（期）: 2001,（8）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 1072-1075
• 页数: 4页
• 分类号: TN492
• 字数: 3001字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2001.08.017

摘要

提出一种低能He注入局域寿命控制电导调制型功率器件的双极输运模型.借助三区双极输运方程导出稳态的非平衡载流子浓度分布和正向压降.借助电荷控制法并引入有效寿命概念获得反向恢复时间.理论分析和实验结果表明这种器件的反向恢复时间减小到常规器件的1/2以下,而正向压降仅增加10%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李肇基	电子科技大学微电子研究所	85	958	14.0	28.0
2	方健	电子科技大学微电子研究所	35	304	9.0	16.0
3	杨健	电子科技大学微电子研究所	8	33	4.0	5.0
4	李鸿雁	电子科技大学微电子研究所	1	5	1.0	1.0