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摘要:
【正】 Y2000-62522 01038132000年 IEEE 13届微电子机械系统会议录=2000IEEE 13th annual international conference on Micro elec-tro mechanical systems[会,英]/IEEE Robotics and Au-tomation Society.—IEEE,2000.—810P.(EC)本会议录收集了于2000年1月23~27日在日本Miyazaki 召开的微电子机械系统会议上发表的138篇论文,内容涉及智能 CMOS 传感器,MEMS 商业化,静电传动装置,压电传动装置,射流技术,传感器,应用MEMS 电路库设计 CMOS 微机械带通滤波器,粘接与封装,离子蚀刻,硅氮化物谐振器失效机理。
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极点配置
图像去噪
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 网络、滤波、滤波器
来源期刊 电子科技文摘 学科 工学
关键词 微电子机械系统 正交滤波器组 电传动装置 传感器 会议录 带通滤波器 失效机理 微机械 射流技术 离子蚀刻
年,卷(期) 2001,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 29-30
页数 2页 分类号 TN
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研究主题发展历程
节点文献
微电子机械系统
正交滤波器组
电传动装置
传感器
会议录
带通滤波器
失效机理
微机械
射流技术
离子蚀刻
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子科技文摘
月刊
1009-0851
11-4388/TN
16开
1999
chi
出版文献量(篇)
10413
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1
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71
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