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网络、滤波、滤波器
网络、滤波、滤波器
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微电子机械系统
正交滤波器组
电传动装置
传感器
会议录
带通滤波器
失效机理
微机械
射流技术
离子蚀刻
摘要:
【正】 Y2000-62522 01038132000年 IEEE 13届微电子机械系统会议录=2000IEEE 13th annual international conference on Micro elec-tro mechanical systems[会,英]/IEEE Robotics and Au-tomation Society.—IEEE,2000.—810P.(EC)本会议录收集了于2000年1月23~27日在日本Miyazaki 召开的微电子机械系统会议上发表的138篇论文,内容涉及智能 CMOS 传感器,MEMS 商业化,静电传动装置,压电传动装置,射流技术,传感器,应用MEMS 电路库设计 CMOS 微机械带通滤波器,粘接与封装,离子蚀刻,硅氮化物谐振器失效机理。
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篇名
网络、滤波、滤波器
来源期刊
电子科技文摘
学科
工学
关键词
微电子机械系统
正交滤波器组
电传动装置
传感器
会议录
带通滤波器
失效机理
微机械
射流技术
离子蚀刻
年,卷(期)
2001,(3)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
29-30
页数
2页
分类号
TN
字数
语种
DOI
五维指标
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
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引文网络
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共引文献
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2001(0)
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正交滤波器组
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传感器
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带通滤波器
失效机理
微机械
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离子蚀刻
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子科技文摘
主办单位:
信息产业部电子科学技术情报研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1009-0851
CN:
11-4388/TN
开本:
16开
出版地:
邮发代号:
创刊时间:
1999
语种:
chi
出版文献量(篇)
10413
总下载数(次)
1
总被引数(次)
71
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