半导体材料

• 来源期刊: 电子科技文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 苯基硅烷 情报通信 取向薄膜 最佳化 研究报告 混合膜 电子学 水溶性 转换过程 半导体材料
• 年，卷（期）: 2001,（8）
• 页码范围: 4-5
• 页数: 2页
• 分类号: TN

摘要

【正】 N2001-07181 0112938电子情报通信学会技术研究报告:有机电子学OME2000-1～12(信学技报,Vol.100,No.29)[汇,日]/日本电子情报通信学会.—2000.04.—72P.(L)本文集为多硅烷特集,收录的12篇论文主要涉及:水溶性多硅烷,有机多硅烷薄膜,多二苯基硅烷取向薄膜,异种多硅烷混合膜,多硅烷的 SiC 转换过程,EL 用多硅烷薄膜的制作、工艺及最佳化,有机多硅烷