电子学与电子工程

• 来源期刊: 电子科技文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 微电机械系统 表面微机械加工 纳米技术 多端口反射计 电子工程 封装 故障源 纳米电子学 飞机 互连
• 年，卷（期）: 2001,（12）
• 页码范围: 1-1
• 页数: 1页
• 分类号: TN

摘要

【正】 Y2001-62909-666 0120302微电机械系统(MEMS)的互连与封装问题=Chal-lenges in Interconnection and packaging of micro-elec-tromechanical systems(MEMS)[会,英]/Ramecham.R.& Ghaffarian,R.//2000 IEEE 50th ElectronicComponents & Technology Conference.—666～675(PC)