电子回旋共振微波等离子体技术及应用

• 作者: 吴卫东 唐永建 张继成
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 电子回旋共振 微波等离子体 反应装置 应用现状 发展展望
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 566-570
• 页数: 5页
• 分类号: TN24
• 字数: 4273字
• 语种: 中文

摘要

电子回旋共振微波等离子体技术(ECR-MP)在表面处理、等离子体刻蚀和薄膜制备,尤其是高品质的激光惯性约束聚变薄膜靶的制备中有着重要的应用.综述了ECR-MP的基本原理、反应装置、实验研究、理论研究和应用情况的发展现状,同时分析了其今后可能的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐永建	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	281	2334	24.0	31.0
2	吴卫东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	140	1087	18.0	26.0
3	张继成	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	29	254	9.0	15.0