半导体设备回转构件平衡技术分析

• 作者: 赵雷
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体 设备 回转构件 平衡
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 新设备·新机构
• 页码范围: 100-102
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.1
• 字数: 1958字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2002.02.009

摘要

随着国内半导体设备行业技术的迅速发展,对回转构件的平衡精度要求越来越高,尤其在硅加工行业中表现尤为突出,针对半导体设备的平衡精度要求,系统阐述了机械平衡的重要性,工程设计中平衡精度选择方式,刚性回转构件的平衡计算以及在实践中对一般、特殊转子的动静平衡方法.