氧化铝薄膜的力学性能主要与薄膜密度相关

• 作者: 杨凯旋
• 来源期刊: 核武器与高技术
• 学科: 工学
• 关键词: 力学性能 密度 氧化铝薄膜 陶瓷薄膜 纳米技术
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 59-60
• 页数: 2页
• 分类号: TQ174.758

摘要

试验证明氧化铝薄膜的力学特性与薄膜密度直接相关。力学特性随薄膜密度线性变化，并且几乎是薄膜密度的唯一函数，而且与相和H含量无关。氧化铝薄膜越密实，硬度，屈服强度和弹性杨氏模量越大。