含掺杂的金刚石

• 作者: 臧建兵 赵玉成 黄浩
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石 半导体 掺杂
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 金刚石/制品
• 页码范围: 16-18
• 页数: 3页
• 分类号: TG73
• 字数: 2899字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2002.01.005

摘要

含Ⅲ族与V族元素掺杂的金刚石是宽禁带的半导体材料,同时具有优异的物理化学特性,在电子器件与光电子器件方面的应用具有极大潜力,成为近几年来国内外研究的热点之一.本文介绍了目前常用的掺杂方法、技术水平及金刚石半导体的应用前景.