衍射光学器件的激光辅助制造

• 作者: 杨国光 梁宜勇
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 衍射光学器件 激光直写系统 衍射效率 光强控制 坐标定位 自动对焦
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 工艺
• 页码范围: 86-90
• 页数: 5页
• 分类号: TN256
• 字数: 1654字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2002.04.020

摘要

衍射光学器件DOE是基于衍射光学原理制成的微光学器件.采用类似于微电子加工手段的激光辅助制造技术--激光直写技术,可以制作具有高衍射效率的DOE.激光直写系统的性能,比如光强控制、坐标定位以及自动对焦等,直接影响制成器件的衍射效率.最后对曲面衍射光学器件激光辅助制造的关键技术进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁宜勇	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	38	190	8.0	12.0
2	杨国光	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	91	1226	21.0	30.0