微机电系统的进展分析与研究

• 作者: 刘晓斌
• 来源期刊: 机械研究与应用
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 微机械器件 加工工艺 应用 产业化
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 72-75
• 页数: 4页
• 分类号: TP272
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-4414.2002.01.033

摘要

系统分析了微机电系统的概念、特点及国内外先进的微机电系统的典型器件和典型系统,微机电有别于其它制造业的独特的加工工艺,以及微机电系统在当今社会的各个领域的广泛应用.介绍了我国在发展微机电系统所做的努力.提出我国必须走研究与应用并重的道路,使微机电系统的研究走向产业化,才能为我国在微电子工业的第二轮国际竞争中争取到应有地位.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晓斌		5	69	3.0	5.0