PZT压电薄膜的压电系数d 31的测量及其微悬臂梁简谐振动模拟

• 作者: 周嘉 黄宜平
• 来源期刊: 复旦学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 压电系数 锆钛酸铅 微悬臂梁 谐振模拟
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 187-191
• 页数: 5页
• 分类号: TN384
• 字数: 2361字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0427-7104.2002.02.015

摘要

介绍了一种应用微悬臂梁结构,简单直接测量其中压电薄膜PZT的横向压电系数d31的方法.利用微悬臂梁器件本身和普通仪器,通过测量电压作用下微悬臂梁所产生的挠度值即可获得d31.还介绍了应用所测的d31对微悬臂梁的谐振进行有限元模拟的方法,及与振动实验结果的比较.