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研究主题发展历程
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激光物理气相沉积术
C—N
薄膜沉积
BCN
碳化硅
薄膜制备
等离子体
离子束
研究起点
研究来源
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期刊影响力
激光集锦
主办单位：
北京光学学会(北京光电所)
中国光学光电子行业协会激光专业分会
出版周期：
季刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
北京648信箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
503
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