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低温吸杂新技术
低温吸杂新技术
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摘要：
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多孔硅的制备及其吸杂处理对电学性能的影响
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低温等离子
灭菌
新技术
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期刊影响力
微电子技术
主办单位：
中国华晶电子集团公司
出版周期：
双月刊
ISSN：
1008-0147
CN：
32-1479/TN
开本：
16开
出版地：
江苏省无锡市
邮发代号：
创刊时间：
1972
语种：
chi
出版文献量（篇）
322
总下载数（次）
0
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