电子束缩小投影曝光机数字对准处理技术

• 作者: 史强 张福安 靳鹏云
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 数字处理技术 电子束缩小投影曝光机 对准系统
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 10-12,65
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1757字
• 语种: 中文

摘要

介绍电子束缩小投影曝光机对准系统的构成及原理,阐述数字处理技术在对准系统中的应用,以及对准数据的产生及数字处理的软件设计,并给出实际测试结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	靳鹏云	中国科学院电工研究所	15	21	2.0	3.0
2	史强	中国科学院电工研究所	11	59	4.0	7.0
3	张福安	中国科学院电工研究所	9	10	2.0	2.0