氩离子辅助轰击对激光烧蚀法制备非晶碳膜的影响

• 作者: 杨益民 郭建
• 来源期刊: 湘潭大学自然科学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氩 离子辅助轰击 激光烧蚀法 非晶碳膜
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 97-100
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1

摘要

离子辅助轰击能有效改善非晶碳(a-C)膜的质量.用脉冲激光(532 nm, 3.5×108 W/c m2)烧蚀石墨靶,同时用Ar+轰击膜面,在Si(100)衬底上沉积a-C膜.用扫描电镜和喇曼光谱对膜结构作了分析.结果表明:在较低气压和较高的射频功率下制备的a-C膜质量较好,同时,激光重复频率对膜生长也有显著影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭建	湘潭大学物理系	44	134	6.0	9.0
2	杨益民	湘潭大学物理系	11	11	3.0	3.0