利用酞菁铅气体传感器的瞬态特性提高传感器的选择性

• 作者: 向因 季振国 朱玲 王龙成 芮祥新
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 酞菁铅 气体传感器 瞬态特性
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 30-32
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4
• 字数: 1599字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2002.02.009

摘要

通过真空蒸发沉积技术在叉指状电极上制备了酞菁铅薄膜气体传感器.实验发现,酞菁铅薄膜对甲醇和丙酮这两种蒸气具有很高的灵敏度.对于甲醇蒸气,酞菁铅薄膜具有很快的响应速度,吸附和脱附时间只要2～3 s,信号随即趋于稳定.对于丙酮蒸气,在吸附的初试阶段酞菁铅薄膜的响应时间与吸附甲醇蒸气时的相差不大,但酞菁铅薄膜的电阻率在经过这个快速响应变化以后并不趋向一个稳定值而是缓慢上升,最后甚至比吸附前的电阻率略高.通过电阻率-气体吸附时间响应曲线的瞬态特性分析,方便、清楚地区分了甲醇和丙酮两种液体.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	季振国	浙江大学材料与化工学院硅材料国家重点实验室	48	467	12.0	19.0
2	向因	浙江大学材料与化工学院硅材料国家重点实验室	8	67	4.0	8.0
3	王龙成	浙江大学材料与化工学院硅材料国家重点实验室	9	29	3.0	5.0
4	芮祥新	浙江大学材料与化工学院硅材料国家重点实验室	8	21	3.0	4.0
5	朱玲	浙江大学材料与化工学院硅材料国家重点实验室	17	122	6.0	11.0