基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
推荐文章
直线电机进给系统机械系统动态特性研究
直线电机
进给系统
机械系统
动态特性
速度环增益
机械系统精度分配与评价方法的研究
机械系统精度
精度分配
精度评价的目标函数
化学机械系统的微小化与节能
微小化
微通道
微型化学机械系统(MCMS)
换热器
反应器
节能
电梯机械系统动态特性研究
电梯
机械系统
动态特性
驱动系统
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 硅光微电机械系统:光学元件与传感器
来源期刊 光学精密工程 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2002,(6) 所属期刊栏目 微纳技术
研究方向 页码范围 632-633
页数 2页 分类号 TN2
字数 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1004-924X.2002.06.019
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (6)
同被引文献  (12)
二级引证文献  (154)
2002(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
2004(6)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(5)
2005(6)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(5)
2006(14)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(14)
2007(11)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(11)
2008(4)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(4)
2009(6)
  • 引证文献(2)
  • 二级引证文献(4)
2010(6)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(6)
2011(8)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(8)
2012(6)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(6)
2013(8)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(8)
2014(18)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(17)
2015(10)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(10)
2016(11)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(11)
2017(14)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(14)
2018(15)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(15)
2019(15)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(14)
2020(2)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(2)
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
月刊
1004-924X
22-1198/TH
大16开
长春市东南湖大路3888号
12-166
1959
chi
出版文献量(篇)
6867
总下载数(次)
10
总被引数(次)
98767
论文1v1指导