凹型Si微透镜阵列的制作

• 作者: 何苗 刘鲁勤 易新建 王英瑞 程祖海
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: Si 凹微透镜阵列 氩离子束刻蚀
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 分类号: TN2
• 字数: 2131字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2002.01.008

摘要

提出了一种新的曲率倒易法首次成功地在Si衬底上制作出64×256凹柱面折射微透镜阵列,扫描电子显微镜(SEM)显示微透镜阵列为表面轮廓清晰的凹柱面阵列,表面探针测试结果显示凹微透镜阵列表面光滑、单元重复性好,其平均凹深为2.643μm,凹深非均匀性为8.45%,平均焦距为-47.08μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程祖海	华中理工大学激光技术国家重点实验室	7	39	5.0	6.0
2	易新建	华中理工大学激光技术国家重点实验室	20	146	7.0	11.0
3	何苗	华中理工大学激光技术国家重点实验室	4	26	3.0	4.0