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摘要:
等离子体浸没离子注入与工件外表面的注入不同,存在空间和时间上的尺度.研究结果表明,由于内腔,如内筒的有限尺寸,使注入电压的利用率降低,同时使内部等离子体快速耗尽,对于特定的内筒,利用提高注入电压从而提高注入能量只能在一定的电压范围内实现.在典型的外表面注入工艺条件下,内表面离子的耗尽速度是惊人的.如在对于直径20cm的圆筒在30kV、2×1015 ions/cm3的条件下,等离子体耗尽时间仅为0.55μs,这个时间甚至小于多数脉冲电源的上升沿时间.结果表明,内部等离子体源的硬件结构可能是一种有效的解决方法.
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文献信息
篇名 等离子体浸没离子注入圆筒内表面的时空尺度
来源期刊 核技术 学科 工学
关键词 内表面 等离子体浸没离子注入 尺度效应
年,卷(期) 2002,(9) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 709-713
页数 5页 分类号 TG142.71
字数 2662字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0253-3219.2002.09.008
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 田修波 3 8 2.0 2.0
2 D T K Kwok 1 3 1.0 1.0
3 童洪辉 1 3 1.0 1.0
4 Paul K Chu 2 9 2.0 2.0
传播情况
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引文网络
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二级参考文献  (0)
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参考文献  (1)
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1996(1)
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2002(0)
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2008(1)
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  • 二级引证文献(0)
2011(1)
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2012(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
内表面
等离子体浸没离子注入
尺度效应
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
核技术
月刊
0253-3219
31-1342/TL
大16开
上海市800-204信箱
4-243
1978
chi
出版文献量(篇)
4560
总下载数(次)
14
总被引数(次)
18959
论文1v1指导