等离子体浸没离子注入圆筒内表面的时空尺度

• 作者: D T K Kwok Paul K Chu 田修波 童洪辉
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 内表面 等离子体浸没离子注入 尺度效应
• 年，卷（期）: 2002,（9）
• 页码范围: 709-713
• 页数: 5页
• 分类号: TG142.71
• 字数: 2662字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2002.09.008

摘要

等离子体浸没离子注入与工件外表面的注入不同,存在空间和时间上的尺度.研究结果表明,由于内腔,如内筒的有限尺寸,使注入电压的利用率降低,同时使内部等离子体快速耗尽,对于特定的内筒,利用提高注入电压从而提高注入能量只能在一定的电压范围内实现.在典型的外表面注入工艺条件下,内表面离子的耗尽速度是惊人的.如在对于直径20cm的圆筒在30kV、2×1015 ions/cm3的条件下,等离子体耗尽时间仅为0.55μs,这个时间甚至小于多数脉冲电源的上升沿时间.结果表明,内部等离子体源的硬件结构可能是一种有效的解决方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田修波		3	8	2.0	2.0
2	D T K Kwok		1	3	1.0	1.0
3	童洪辉		1	3	1.0	1.0
4	Paul K Chu		2	9	2.0	2.0