400 nm～2 000 nm椭偏光谱仪的研究

• 作者: 杜泉 郭建军
• 来源期刊: 四川工业学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 椭偏光谱仪 薄膜检测 近红外椭偏光谱
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 数学与物理
• 页码范围: 88-90
• 页数: 3页
• 分类号: O433|TP273+.2
• 字数: 2797字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-159X.2002.04.027

摘要

建立了计算机自动控制测量400 nm～2 000 nm椭偏光谱仪系统.经过实验检验了系统的重复性及准确度,证明系统可用于高精度薄膜厚度的检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜泉	四川工业学院电子信息与电气工程系	6	8	2.0	2.0
2	郭建军	四川工业学院电子信息与电气工程系	11	26	3.0	4.0