椭偏光谱测量匀质膜光学特性的计算分析

• 作者: 唐奇 宋丽丽 韩宇
• 来源期刊: 辽宁大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 椭圆偏振光谱仪 薄膜测厚 程序设计 数据处理
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 页码范围: 119-122
• 页数: 4页
• 分类号: O436.3
• 字数: 2748字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5846.2003.02.009

摘要

应用椭偏光谱法,测量透明膜和吸收膜的折射率、厚度及消光系数.利用Delphi语言编程对实验数据进行处理,其结果与已正式出版的椭偏测厚数据表进行对比,各测量点绝对误差为0.01nm,该程序适用于椭偏光谱仪对各种匀质膜测量的数据处理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋丽丽	辽宁大学物理系	32	113	6.0	8.0
2	韩宇	辽宁大学物理系	12	31	2.0	5.0
3	唐奇	辽宁大学物理系	1	6	1.0	1.0