阴极真空电弧沉积MgO薄膜的椭偏光谱研究

• 作者: 何振辉 刘毅 朱道云 林晓东 陈弟虎
• 来源期刊: 中山大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 阴极真空电弧离子沉积 MgO薄膜 椭圆偏振光谱 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 26-30
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 4000字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0529-6579.2007.01.006

摘要

采用阴极真空电弧离子沉积技术在硅基片上制备出了MgO薄膜.利用椭圆偏振光谱、原子力显微镜及扫描电子显微镜分别对不同氧流量下制备的MgO薄膜的厚度,光学常数,表面粗糙度及表面形貌进行了分析,并对椭圆偏振光谱的光学粗糙度结果和原子力显微镜的均方根粗糙度结果进行了对比和分析.结果表明,不同氧流量下制备出的MgO薄膜,表面粗糙度及薄膜颗粒随着氧流量的增加而增大.椭偏光谱与AFM得到的表面粗糙度存在线性一致关系,表明椭偏光谱可作为一种很好的无损分析手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林晓东	深圳大学物理科学学院	21	68	5.0	6.0