适用于微粒操作的真空微夹研究

• 作者: 刘敏 彭刚 黄心汉
• 来源期刊: 兵工自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 真空微夹 微粒操作 微粒吸取 微粒放置
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 自动控制技术
• 页码范围: 9-12
• 页数: 4页
• 分类号: TP273
• 字数: 2323字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-1576.2002.04.003

摘要

微夹研究是微机械电子学系统(MEMS)领域的一个前沿课题.在微粒操作中,起主导作用的是表面力(包括静电力、范德华力和张力),重力可忽略.真空微夹由真空喷射泵、线性压力调节阀、电磁开关阀以及满足尺寸和形状要求玻璃吸管组成.其控制系统为一单片机系统,控制命令由上位机(PC机)给出.对300μm玻璃小球的吸取和释放实验表明,系统结构和控制方式可行,效果良好,适用于亚毫米级微粒的自动吸取和释放操作.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘敏	华中科技大学控制科学与工程系	74	502	12.0	19.0
2	黄心汉	华中科技大学控制科学与工程系	151	2823	27.0	48.0
3	彭刚	华中科技大学控制科学与工程系	79	781	15.0	25.0