化学修饰法制备的ZrO2-SiO2系凝胶薄膜的感光特性研究

• 作者: 赵桂荣 赵高扬
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 化学修饰 微细加工 吸光度 氧化锆-氧化硅薄膜
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 207-208,211
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 1266字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2002.02.032

摘要

本研究采用溶胶-凝胶与化学修饰相结合的方法制备了xZrO2@(100-x)SiO2系薄膜,进一步研究了这种薄膜的紫外光谱特性,发现了当x＞30时,这种凝胶薄膜在335nm附近有较强的吸收峰,这一吸收峰对应于与Zr形成配位体的BzAcH的π-π*迁移.当紫外光照射薄膜后,随着含Zr螯合物的分解,吸收峰也消失,并引起薄膜在有机溶剂中的溶解特性的显著变化,表现出明显的感光特性.这种薄膜经400℃、30min热处理以后,薄膜中的有机物消失,可获得非晶质的ZrO2-SiO2系薄膜,依据这一特性可以用紫外光对这类薄膜进行微细加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵高扬	西安理工大学材料科学与工程学院	72	349	10.0	14.0
2	赵桂荣	西安理工大学材料科学与工程学院	15	43	4.0	6.0