不同镀膜温度下离子镀TiN与Cr/Cu接触界面形成与表面特性

• 作者: 倪子绵 刘新 徐富春 林秀华 汤丁亮 王水菊 薛茹
• 来源期刊: 厦门大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 多弧离子镀 TiN Cr/Cu 表面 接触界面
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 物理学·技术科学
• 页码范围: 306-310
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.1|O484.5
• 字数: 3723字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0438-0479.2002.03.010

摘要

使用多弧离子镀在铜基镀Cr的衬底上制备TiN薄膜,借助表面分析技术研究了不同温度下离子镀TiN与Cr/Cu接触的界面与表面性质.通过SEM、TEM观测表面形貌,微结构随温度变化;用AES和XPS测量接触界面成分随温度的变化.结果表明,在90 ℃下,表面TiN薄膜欠均匀,界面较清晰可辨;随着温度的升高,表面微结晶性能有所改善,在170 ℃时可见局部球聚隆起,出现粗细不同的类枝状结晶结构,此时TiN与Cr/Cu界面层增厚,形成较为稳定的Ti-Cr金属间化合物.TiN薄膜在金属衬底上的生长行为与衬底表面的原子结构、晶向,以及TiN与金属间的电荷转移和键合状况有关,适当的衬底温度(120 ℃)可以改变TiN形貌,改善其机械性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王水菊	厦门大学分析测试中心	21	199	9.0	13.0
2	徐富春	厦门大学分析测试中心	11	91	6.0	9.0
3	林秀华	厦门大学物理学系	20	420	6.0	20.0
5	汤丁亮	厦门大学分析测试中心	15	176	6.0	13.0
6	薛茹	厦门大学分析测试中心	7	78	3.0	7.0
7	倪子绵	厦门大学分析测试中心	13	308	9.0	13.0
10	刘新	厦门大学物理学系	1	3	1.0	1.0