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篇名	粒子束注入技术金属工业离子注入机多功能离子注入机全方位离子注入机
来源期刊	新技术新工艺	学科
关键词
年，卷（期）	2002,（2）	所属期刊栏目	军工民品科技信息
研究方向		页码范围	48
页数	1页	分类号
字数	1307字	语种	中文
DOI