V2O5薄膜用作SO2气敏传感器

• 作者: 孙玉琴 汤兆胜 范正修
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: V2O5 薄膜 传感器 SO2
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 52-54
• 页数: 3页
• 分类号: TB381
• 字数: 2597字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2002.01.017

摘要

在O2/Ar气氛中,用射频磁控溅射法在常温下溅射V2O5粉末靶得到氧化钒薄膜.在350℃热处理后,经XRD分析.薄膜的主要成分为V2O5.在不同温度下对v2O5薄膜作了对"空气和SO2"的混合气氛的敏感特性测试分析,发现在300～390℃范围内,薄膜对SO2气体灵敏度随温度的升高而增大,在超过390℃后,灵敏度随温度升高而降低.在SO2气体去除后,薄膜的电阻值能恢复到初始状态,气敏过程可反复进行.文章对V2Os薄膜的气敏机理作了定性描述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范正修	中国科学院上海光学精密机械研究所	203	2312	23.0	32.0
2	汤兆胜	中国科学院上海光学精密机械研究所	20	201	7.0	14.0
3	孙玉琴	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	18	1.0	1.0