新型谐振式硅微机械加速度计

• 作者: 张国雄 李醒飞 钟莹
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 双端固定音叉 微机电系统 谐振器 加速度计
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 34-37
• 页数: 4页
• 分类号: TN40
• 字数: 2003字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2003.01.007

摘要

制作出一种新型结构的谐振式硅微加速度计,其输出频率信号可以克服微机电系统器件输出微弱信号检测的困难.采用双端固定音叉作为谐振器,在加速度作用下,质量块的惯性力通过悬臂梁施加于音叉轴向,利用音叉谐振频率的变化测量加速度.在每个音叉臂上制作了梳齿结构,用梳齿间的静电力激励音叉产生谐振,并利用其构成的电容检测其振动频率.该加速度计采用体硅工艺制作,文中给出了工艺流程.用有限元方法仿真估算,得到传感器的灵敏度约为2/g Hz.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国雄	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	267	3932	30.0	48.0
2	李醒飞	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	147	1425	20.0	30.0
3	钟莹	天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	31	275	10.0	16.0