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摘要:
介绍一套低成本小型三维坐标测量机的研制过程,作为微/纳米级超精密测量设备,整体机台结构采用花岗岩材料;X/Y轴的移动平台利用压电材料摩擦驱动与挠性变形原理,长短两行程可达25 mm范围及5 nm的微位移,藉自行研发的衍射干涉激光尺,位置回馈测量系统可具有0.025 nm的分辨率;测量探头在一般DVD光读取头的自动聚焦原理基础上改装,最佳分辨率可达2.5 nm.该雏形机适于测量微机电组件、微型器件及膜厚等.
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文献信息
篇名 小型微/纳米级三坐标测量机的研制
来源期刊 纳米技术与精密工程 学科 工学
关键词 小型三坐标测量机 纳米定位平台 衍射干涉激光尺 自动聚焦探头
年,卷(期) 2003,(1) 所属期刊栏目 纳米技术
研究方向 页码范围 17-23
页数 7页 分类号 TH721
字数 3099字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1672-6030.2003.01.004
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 范光照 合肥工业大学仪器仪表学院 10 142 6.0 10.0
5 朱志良 南台科技大学机械系 1 53 1.0 1.0
6 钟添东 台湾大学机械系 1 53 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
小型三坐标测量机
纳米定位平台
衍射干涉激光尺
自动聚焦探头
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
纳米技术与精密工程(英文)
季刊
1672-6030
12-1458/03
天津市南开区卫津路92号
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出版文献量(篇)
1315
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