小型微/纳米级三坐标测量机的研制

• 作者: 朱志良 范光照 钟添东
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 小型三坐标测量机 纳米定位平台 衍射干涉激光尺 自动聚焦探头
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 纳米技术
• 页码范围: 17-23
• 页数: 7页
• 分类号: TH721
• 字数: 3099字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2003.01.004

摘要

介绍一套低成本小型三维坐标测量机的研制过程,作为微/纳米级超精密测量设备,整体机台结构采用花岗岩材料;X/Y轴的移动平台利用压电材料摩擦驱动与挠性变形原理,长短两行程可达25 mm范围及5 nm的微位移,藉自行研发的衍射干涉激光尺,位置回馈测量系统可具有0.025 nm的分辨率;测量探头在一般DVD光读取头的自动聚焦原理基础上改装,最佳分辨率可达2.5 nm.该雏形机适于测量微机电组件、微型器件及膜厚等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范光照	合肥工业大学仪器仪表学院	10	142	6.0	10.0
5	朱志良	南台科技大学机械系	1	53	1.0	1.0
6	钟添东	台湾大学机械系	1	53	1.0	1.0