微机械加工中恒温腐蚀系统的设计研究

• 作者: 张福海 牛文成 罗伟栋 那兴波
• 来源期刊: 南开大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 腐蚀系统 恒温控制 模糊专家系统
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 页码范围: 86-89,104
• 页数: 5页
• 分类号: TN304
• 字数: 2458字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0465-7942.2003.03.018

摘要

本文设计了一个恒温腐蚀系统,用于微机械加工制作中的腐蚀工艺.系统装备了冷凝回流与加热搅拌装置,保证了腐蚀过程中,腐蚀液浓度的稳定与均匀;特殊设计的加热设备,提高了热量的利用效率.同时,采用内藏式温度传感器和基于模糊专家系统的温度控制算法,使腐蚀系统的温度控制更加精确、灵活.与传统水浴恒温相比,不仅使用方便,而且提高了腐蚀的效率与质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	牛文成	南开大学信息学院微电子学系	48	515	11.0	21.0
2	张福海	南开大学信息学院微电子学系	17	37	4.0	5.0
3	罗伟栋	南开大学信息学院微电子学系	5	9	2.0	2.0
4	那兴波	南开大学信息学院微电子学系	7	20	3.0	3.0