屈曲型数字微镜结构的机电动力学分析

• 作者: 范国滨 贾建援 陈贵敏
• 来源期刊: 应用力学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压杆屈曲 微结构 机电动力学 数字微镜装置
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 页码范围: 92-95
• 页数: 4页
• 分类号: TH744-34
• 字数: 2914字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-4939.2003.02.020

摘要

设计一种基于压杆屈曲原理的数字微镜装置,针对该装置建立机电动力学模型,应用龙格-库塔法和有限元数值方法求解其动力学模型中的隐函数.通过对该模型的完整机电动力学微分方程数值求解所作的运动仿真,得到了微镜基板的连续角位移曲线,表明该装置具有良好的光束稳定特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾建援		174	1783	17.0	35.0
2	范国滨		6	31	2.0	5.0
3	陈贵敏		33	902	11.0	30.0