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合金薄膜高温压力传感器研究进展
压力传感器
高温
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电阻点焊
压力传感器
弹性体
飞溅
通用型高温压阻式压力传感器研究
高温压力传感器
SIMOX
耐高温封装
补偿电路
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 测射型应变式合金薄膜压力传感器
来源期刊 传感器世界 学科 工学
关键词 压力传感器 性能指标 氮化离子流复合合成膜技术 集成电路微细图形加工技术
年,卷(期) 2003,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 38
页数 1页 分类号 TP212.12
字数 语种 中文
DOI
五维指标
传播情况
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2003(0)
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研究主题发展历程
节点文献
压力传感器
性能指标
氮化离子流复合合成膜技术
集成电路微细图形加工技术
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
传感器世界
月刊
1006-883X
11-3736/TP
大16开
北京市北四环中路35号教2楼501(北京9716信箱404分箱)
82-694
1995
chi
出版文献量(篇)
2678
总下载数(次)
15
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