通用型高温压阻式压力传感器研究

• 作者: 丁建宁 王文襄 王权 薛伟
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 高温压力传感器 SIMOX 耐高温封装 补偿电路
• 年，卷（期）: 2005,（20）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 1795-1798
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.12
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.20.003

摘要

针对石油化工等领域高温下压力测量的要求,设计了压阻式压力传感器硅芯片,采用SIMOX 技术SOI晶片,在微加工平台上制作了硅芯片.对不同的用户工况设计了装配结构,采用耐高温封装工艺,研究了耐高温微型压力传感器封装材料匹配与热应力消除技术,解决了内外引线的技术难点.从低成本、易操作性出发,设计了温度系数补偿电路,研制了精度高、稳定性佳的耐高温通用压力传感器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛伟		66	591	13.0	20.0
3	丁建宁		146	769	14.0	19.0
4	王权		31	183	8.0	11.0
7	王文襄		1	7	1.0	1.0