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Fe离子注入ZrO2的研究
Fe离子注入ZrO2的研究
作者:
徐政
李世普
樊东辉
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
字:离子注入
Fe离子
ZrO2
摘要:
陶瓷材料的表面性能在很大程度上取决于其表面条件.例如:陶瓷的表面微裂纹影响着机械强度,而磁学及电学性能则对其表面结构及化学成份非常敏感.近年来离子注入法已经开辟了研制现代材料的新途径,并被广泛应用于金属、半导体及部分聚合物材料中.对于陶瓷材料,目前大多数有关这方面的研究集中于改善陶瓷表面的机械性能,很少有论文涉及其表面电性能的改善.本文介绍了一种改善ZrO2陶瓷表面导电性能的新方法.ZrO2陶瓷是绝缘体,常温下其电阻率大于1012Ωcm.通过不同剂量的离子注入可以使得样品表层产生不同程度的电性能变化.试验表明,当采用2×1017Fe./cm2注入,并在950℃下真空退火30分钟,ZrO2的表面电阻率将下降十余个数量级,从而大幅度提高了样品的导电性.文中还通过应用X射线衍射及光电子能谱技术,分别对注入元素的化学结合状态及表面注入层的结晶相进行了较为详细的讨论.从XPS测试发现,注入离子在ZrO2表层中以Fe2+、Fe3+及Fe0三种形式的状态存在;X射线衍射数据表明,注入层中除ZrO2主晶相外,还存在少量的F2ZrO3等晶相.文章的最后部分讨论了离子注入样品的导电机制.
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内容分析
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相关文献总数
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文献信息
篇名
Fe离子注入ZrO2的研究
来源期刊
南京大学学报(自然科学版)
学科
工学
关键词
字:离子注入
Fe离子
ZrO2
年,卷(期)
2003,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
76-80
页数
5页
分类号
TB33
字数
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:0469-5097.2003.01.010
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
李世普
武汉理工大学新材料研究所
188
2142
24.0
37.0
2
徐政
同济大学材料科学与工程学院微电子材料研究所
160
2312
24.0
39.0
3
樊东辉
同济大学材料科学与工程学院微电子材料研究所
15
144
8.0
11.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
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引文网络
引文网络
二级参考文献
(0)
共引文献
(0)
参考文献
(1)
节点文献
引证文献
(9)
同被引文献
(0)
二级引证文献
(0)
1998(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2003(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2005(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2006(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2007(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2008(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2009(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2010(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2014(2)
引证文献(2)
二级引证文献(0)
2018(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
字:离子注入
Fe离子
ZrO2
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
南京大学学报(自然科学版)
主办单位:
南京大学
出版周期:
双月刊
ISSN:
0469-5097
CN:
32-1169/N
开本:
出版地:
江苏省南京市南京大学
邮发代号:
创刊时间:
语种:
chi
出版文献量(篇)
2526
总下载数(次)
6
总被引数(次)
23071
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