电弧离子镀氧化铬涂层的组织结构及硬度

• 作者: 孙超 宋贵宏 汪伟 汪爱英 纪爱玲 闻立时
• 来源期刊: 金属学报
• 学科: 工学
• 关键词: Cr2O3薄膜 电弧离子镀 组织结构 脉冲偏压
• 年，卷（期）: 2003,（9）
• 页码范围: 979-983
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.44|TG113.2
• 字数: 3537字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0412-1961.2003.09.016

摘要

采用电弧离子镀方法在不锈钢基体上沉积Cr2O3薄膜.研究了氧流量和脉冲偏压对薄膜相结构、沉积速率、表面形貌、薄膜硬度的影响.结果表明,氧流量和脉冲偏压对薄膜的相结构有较大的影响.在氧流量为130 cm3/s、脉冲偏压为100V时,出现Cr2O3{001}面择优取向;氧流量增高,脉冲偏压增大时,薄膜的表面形貌得到改善;在脉冲偏压为-200 V、氧流量为130 cm3/s时,可获得符合Cr2O3化学计量比的薄膜,其硬度达到36 GPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙超	中国科学院金属研究所	126	1708	23.0	34.0
2	汪爱英	中国科学院金属研究所	33	206	9.0	13.0
3	闻立时	中国科学院金属研究所	117	1859	24.0	36.0
4	宋贵宏	中国科学院金属研究所	3	46	3.0	3.0
5	汪伟	中国科学院金属研究所	26	99	6.0	9.0
6	纪爱玲	中国科学院金属研究所	7	86	5.0	7.0