氮化硅流延膜的制备

• 作者: 庄汉锐 张宝林 李文兰 陈殿营
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 流延成型 氮化硅 基片
• 年，卷（期）: 2003,（6）
• 所属期刊栏目: 研究工作快报
• 页码范围: 71-74
• 页数: 4页
• 分类号: TM28
• 字数: 2619字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1625.2003.06.018

摘要

流延成型是一种制备高质量陶瓷基片的成型方法.氮化硅是一种高热导率的材料,有望在电子基片领域获得应用.本文利用流延成型制备了具有较好柔韧性和一定强度的氮化硅流延素坯膜.研究了无水乙醇、无水乙醇/丁酮作为溶剂时对浆料粘度的影响.通过优化流延浆料添加剂的各种配比,得出了适合氮化硅粉体(SN-E10)流延的最佳配方.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	庄汉锐	中国科学院上海硅酸盐研究所	43	399	11.0	18.0
2	李文兰	中国科学院上海硅酸盐研究所	42	348	11.0	17.0
3	张宝林	中国科学院上海硅酸盐研究所	56	783	16.0	26.0
4	陈殿营	中国科学院上海硅酸盐研究所	3	52	3.0	3.0