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真空镀膜技术的现状及发展
真空镀膜技术
物理气相沉积法
真空蒸发
溅射镀膜
离子镀膜
软X射线多层膜技术
软X射线
多层膜
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 制膜技术与装置
来源期刊 中国光学与应用光学文摘 学科 物理学
关键词
年,卷(期) 2003,(3) 所属期刊栏目 薄膜光学
研究方向 页码范围 59-60
页数 2页 分类号 O484.1
字数 1720字 语种 中文
DOI
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相关学者/机构
期刊影响力
中国光学
双月刊
2095-1531
22-1400/O4
大16开
吉林省长春市东南湖大路3888号
12-140
1985
chi
出版文献量(篇)
2372
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8
总被引数(次)
11606
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