电子工艺

• 来源期刊: 电子科技文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 电子工艺 微电子封装 RETRO 脉冲电弧 电路原理 维修经验 西安工业学院 半导体光电 溶剂热法 光学性能
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 24-25
• 页数: 2页
• 分类号: TN405

摘要

【正】 Y2002-63234-211 0300356采用反向工艺序列的低成本高可靠性 CMOS 工艺=Low cost and high reliability CMOS technologies,by"retro process sequence"[会,英]/Sekikawa,N.& An-do,W.//2001 IEEE Intemational Symposium on Semi-conductor Manufacturing.—211～214(E)