以混频器作为信号处理单元的环振式压力传感器

• 作者: 刘理天 岳瑞峰 张兆华
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 数字式压力传感器 环形振荡器 混频器
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 页码范围: 337-340
• 页数: 4页
• 分类号: TP212|TN303
• 字数: 2300字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2003.04.003

摘要

提出了一种新的环振式数字压力传感器,它采用做在硅梁上的MOS环形振荡器作为敏感元件,两个反方向变化的环形振荡器的输出信号通过集成在片内的混频器实现频率相减,分析了环形振荡器的频率特性,以及环形振荡器的谐振频率和压力的关系,分析并设计了压力传感器的环形振荡器电路、混频器电路、物理结构以及制作工艺,并制作了样品,其灵敏度为1.52 kHz/kPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	岳瑞峰	清华大学微电子学研究所	67	379	11.0	15.0
2	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
3	张兆华	清华大学微电子学研究所	21	150	8.0	11.0