离轴照明Schwarzschild投影物镜的计算机辅助装调方法

• 作者: 向鹏 曹健林 林强 金春水
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 极紫外投影光刻 光学系统装调 奇异值分解
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 现代光学仪器
• 页码范围: 144-150
• 页数: 7页
• 分类号: TH703
• 字数: 3866字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2003.02.008

摘要

介绍计算机辅助装调方法在离轴照明EUVL光学系统中的应用,阐述了一种基于奇异值分解(SVD)的牛顿迭代法来求解失调量.利用该方法对敏感矩阵进行分解,从中分析得到影响不同像差的结构参数的敏感性,并筛选出补偿器,求出相应失调量的大小.在此基础上进行多次模拟装调,证明各种情况都是收敛的,可以实现精密装调的目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林强	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	35	196	9.0	12.0
2	金春水	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	56	202	9.0	11.0
3	曹健林	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	37	328	10.0	17.0
4	向鹏	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	4	52	4.0	4.0