智能型纳米级抛光机的运动分析

• 作者: 吕冰海 常敏 潘锋 袁巨龙 赵文宏 赵萍
• 来源期刊: 制造技术与机床
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密抛光 运动特性 运行模式
• 年，卷（期）: 2003,（7）
• 所属期刊栏目: 设计与研究
• 页码范围: 19-22
• 页数: 4页
• 分类号: TN05
• 字数: 1989字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-2402.2003.07.006

摘要

分析了智能型纳米级抛光机运动的设计原理,使工件加工表面各点相对于抛光盘的抛光线速度相等,且工件表面各点运动轨迹不重复;提出了"低速起动-无级提速-恒速加工-低速修整-低速停止"的加工运动模式,采用光栅测量和微机控制技术,将抛光盘总转数的精度控制在±0.5°以内,保证加工余量去除误差在1 nm以内,结合合理的加工工艺,获得晶片极高的平面度和无损伤超平滑表面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵萍	浙江工业大学机电学院	28	179	7.0	12.0
2	袁巨龙	浙江工业大学机电学院	116	1467	19.0	35.0
3	赵文宏	浙江工业大学机电学院	35	279	9.0	15.0
4	吕冰海	浙江工业大学机电学院	51	710	11.0	26.0
5	常敏	浙江工业大学机电学院	6	77	6.0	6.0
6	潘锋	浙江工业大学机电学院	1	9	1.0	1.0