半导体光刻技术在生物芯片制作中的应用

• 作者: 姚素英 庞科 张生才 徐利 李育刚 胡泽军
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 生物芯片 半导体光刻 基因芯片 寡聚核苷酸阵列
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 99-102
• 页数: 4页
• 分类号: TN405
• 字数: 2273字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2003.01.025

摘要

以生物芯片及其制作过程来重点介绍采用半导体光刻技术制作基因芯片,通过与传统光引导合成法的比较,表明了这种方法在制作高密度寡聚核苷酸上的优越性,其探针特征尺寸可望达到1 μm,并阐明了其原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚素英	天津大学电子信息工程学院	160	911	14.0	21.0
2	张生才	天津大学电子信息工程学院	41	316	11.0	15.0
3	胡泽军	天津大学电子信息工程学院	5	6	1.0	1.0
4	李育刚	天津大学电子信息工程学院	3	11	2.0	3.0
5	庞科	天津大学电子信息工程学院	12	39	3.0	6.0
6	徐利	天津大学电子信息工程学院	2	6	2.0	2.0