计及边缘效应的非平行梳状驱动器的静电力计算

• 作者: 李勇 李庆祥 李玉和 訾艳阳
• 来源期刊: 清华大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 电学 边缘效应 梳状驱动器 静电力
• 年，卷（期）: 2003,（8）
• 所属期刊栏目: 精密仪器与机械学
• 页码范围: 1024-1026,1030
• 页数: 4页
• 分类号: O441.1|TH703
• 字数: 1492字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-0054.2003.08.009

摘要

为准确计算梳状驱动器的静电力,针对非平行静电梳状驱动方式以及实际静电致动微机械器件电容边缘效应不可忽略的特点,进一步推导出忽略边缘效应的非平行静电梳状驱动器静电力计算式,并给出计及边缘效应的梳状驱动器以及非平行梳状驱动器静电力计算公式.采用有限元方法的三维仿真结果表明,对于不满足平行板电容器简化计算条件的模型,计及边缘效应的计算式具有更好的准确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李勇	清华大学精密仪器与机械学系	207	2161	23.0	35.0
2	李庆祥	清华大学精密仪器与机械学系	84	2180	20.0	45.0
3	李玉和	清华大学精密仪器与机械学系	59	1638	16.0	40.0
4	訾艳阳	清华大学精密仪器与机械学系	12	166	7.0	12.0