纳米尺度线宽的测量与Nano1国际关键比对

• 作者: 王伟杰 肖增文 褚巍 赵学增
• 来源期刊: 中国计量学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米计量 线宽 比对 Nano1 CD测量
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 页码范围: 165-169,173
• 页数: 6页
• 分类号: TH701
• 字数: 4141字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1540.2003.03.001

摘要

现代集成电路制造业、数据存储工业和微机电系统等行业的不断发展,对纳米尺度线宽的测量提出了越来越高的要求.目前的一些测量方法分别存在各自的缺点与不足,在缺少更高准确度计量标准的情况下,往往采用比对的方法使计量结果趋于一致.国际计量局在1998年把纳米尺度线宽计量确定为纳米尺度基本特征国际关键比对项目之一.文章对它的主要研究内容以及进展情况作了介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵学增	哈尔滨工业大学机电工程学院	133	1496	19.0	30.0
2	王伟杰	哈尔滨工业大学机电工程学院	50	657	14.0	23.0
3	褚巍	哈尔滨工业大学机电工程学院	17	111	6.0	9.0
4	肖增文	哈尔滨工业大学机电工程学院	14	87	6.0	8.0