纳米光栅栅距的精确测量与nano4国际比对

• 作者: 王春艳 邵宏伟 高思田
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 纳米计量 光栅 Littrow衍射方法
• 年，卷（期）: 2008,（z1）
• 所属期刊栏目: 溯源技术和新仪器的研制
• 页码范围: 118-121
• 页数: 4页
• 分类号: TB92
• 字数: 2095字
• 语种: 中文

摘要

对Littrow衍射方法测量纳米光栅的基本原理、构造及其安装误差进行了分析研究,并利用所建立的测量装置参加了国际计量技术委员会长度咨询委员会组织的一维纳米光栅国际比对.比对结果证明了该测量系统具有优良的计量性能,能够用于纳米光栅栅距的检定校准.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高思田		93	567	11.0	19.0
2	王春艳		12	61	4.0	7.0
3	邵宏伟		20	99	5.0	9.0