椭圆偏振仪在纳米测量技术中的应用

• 作者: 金承钰
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 物理学
• 关键词: 椭圆偏振仪 光学梯度膜 多层膜 膜厚 光学常数
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 纳米测量技术与仪器(第一届全国纳米测量技术会议论文之一)
• 页码范围: 30-31
• 页数: 2页
• 分类号: O484.5|O484.4+1
• 字数: 1089字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-8892.2003.02.010

摘要

主要研究变角度变波长椭圆偏振仪测量多层膜每层膜厚和光学特性,并给出了光学梯度薄膜的梯度特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金承钰	上海交通大学分析测试中心	11	89	5.0	9.0