唯一性检测在椭圆偏振光谱薄膜拟合中的应用

• 作者: 唐彬 孙远程 张荣君 樊华 王子仪 王松有 许骥平 郑玉祥 陈良尧
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 地球科学
• 关键词: 椭圆偏振光谱 唯一性检测 薄膜 二氧化钛
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 页码范围: 663-667
• 页数: 5页
• 分类号: N34
• 字数: 354字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2015.06.005

摘要

利用椭圆偏振光谱进行薄膜样品的测量数据分析拟合时,薄膜厚度与介电常数通常具有一定的关联性.不同色散模型的选取也会对拟合结果产生明显的影响,引起较大误差.介绍了唯一性检测在椭偏拟合中的实现方法.并以二氧化钛样品为例,利用唯一性检测对比了不同色散模型、不同厚度、不同测量波段、不同入射角度时的唯一性检测结果.结果表明,唯一性检测能够有效标定出椭偏测量和拟合过程中所产生的误差,同时能够对不同色散模型进行量化对比,提升拟合精度.